
ウエハテストには、様々なシステムや機器、設備を使用しますが、生産の進捗に応じた機器の選択や作業の優先順位などの的確な指示が必要となります。ムダな作業や投資を無くし、設備の稼働最適化を図ることで、結果的に高信頼性とテストコスト低減が実現します。このようにウエハテストビジネスでは、「人・モノ・金」すべてのリソースを最大限に有効利用することが求められます。
テラプローブでは、このような作業の進捗やシステムの稼働を常にモニタし、管理できる生産管理システムTIPS(Teraprobe Intelligent Probing
System)を開発しました。 |
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半導体デバイスの中でも、特にSoCは多品種少量品の為、これらを効率よくテストすることがコスト低減には重要となります。すべての生産設備と投入されるウエハ・ロット毎にIDナンバーが付与され、生産の各工程におけるレシピ管理、データ管理、異常監視、解析機能、カード管理などを自動的に行い、どの設備でどのようにテストを行うかの条件やテスト結果までが一元管理される枚葉生産方式を取り入れています。 |
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全自動化された生産管理システムTIPS(Teraprobe Intelligent Probing System)で収集され、テスト状況やテスト結果の情報は、ウエハ毎、ロット毎に、お客様別に用意したサーバに蓄積されており、お客様は端末を接続するだけで、いつでもどこでもリアルタイムにテスト状況を把握することができ、バーチャルオンサイトを可能にしています。 |