| 2005年8月 | 会社設立、資本金1,000万円 |
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| 2005年9月 | エルピーダメモリ(株)、Kingston Technology Japan, LLC、Powertech Technology Inc.、及び(株)アドバンテストを割当先とする第三者割当増資を実施、新資本金56億円 |
| 産業活力再生特別措置法に基づく「経営資源再活用計画」の認定を取得 | |
| 2005年10月 | 広島事業所(広島県東広島市)にてDRAM製品のウエハテスト事業を開始 |
| 開発センター(神奈川県相模原市)にてテスト技術等の受託開発事業を開始 | |
| 2006年5月 | 広島事業所にてエルピーダメモリ(株)以外のウエハテスト事業を開始 |
| 2006年6月 | 広島事業所にて品質マネジメントシステムISO9001(2000年度版)の認証取得 |
| 熊本県葦北郡芦北町に九州事業所用地及び建物取得 | |
| 2006年9月 | 九州事業所開設、ロジック製品のファイナルテスト事業を開始 |
| 2006年11月 | 九州事業所にてロジック製品のウエハテスト事業を開始 |
| 2007年1月 | 九州事業所にて品質マネジメントシステムISO9001(2000年度版)の認証取得 |
| 2007年3月 | 神奈川県横浜市港北区新横浜に本社・開発センターを移転 |
| 産業活力再生特別措置法の「経営資源再活用計画」認定の取消し、及び同法に基づく「事業再構築計画」の認定を取得 | |
| 吸収分割により広島エルピーダメモリ(株)からウエハテスト事業に関する設備、装置等を承継、新資本金96億円 | |
| 2007年4月 | 九州事業所に新棟(B棟)竣工 |
| 2007年9月 | 九州事業所B棟操業開始 |
| 2007年12月 | 環境マネジメントシステムISO14001(2004年度版)の認証取得 |
| 情報セキュリティマネジメントシステムISO27001(2005年度版)の認証取得 | |
| 2008年9月 | 合弁子会社「TeraPower Technology Inc.」(台湾)にてウエハテスト事業を開始 |
| 2009年7月 | 九州事業所内に「テストセンター」を開設 |
| 2010年12月 | 東京証券取引所マザーズに上場 |
| 2011年10月 | カシオマイクロニクスのWLP関連事業を承継し、株式会社テラミクロスとして事業開始 |
| 2012年3月 | 労働安全衛生マネジメントシステムOHSAS18001(2007年度版)の認証取得 |




